什么是微能源

微機(jī)電系統(tǒng)的構(gòu)成既是一個信息系統(tǒng)，也是一個功能系統(tǒng)，主要有微驅(qū)動器、微傳感器、微執(zhí)行器、微處理器和微能源等要素組成。微機(jī)電系統(tǒng)微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS，Micro-Electro-MechanicSystem）是一種先進(jìn)的制造技術(shù)平臺，微機(jī)電系統(tǒng)是在微電子技術(shù)和微機(jī)械技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的多學(xué)科交叉的新領(lǐng)域。1、什么是微機(jī)電系統(tǒng)，有什么具體的應(yīng)用？微機(jī)電系統(tǒng)微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS,Micro-Electro-MechanicSystem）是一種先進(jìn)的制造技術(shù)平臺。它是以半導(dǎo)體制造技術(shù)為基礎(chǔ)發(fā)展起來的，是集微型機(jī)構(gòu)...